懸臂式真空泵是一種常用于半導(dǎo)體、光刻、冶金、太陽能及其他工業(yè)領(lǐng)域的真空設(shè)備,其具有流量大,抽空能力強(qiáng),結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點(diǎn),因此廣泛受到市場的青睞。
小型緊湊
懸臂式真空泵采用雙環(huán)結(jié)構(gòu),緊湊型設(shè)計的泵體,減少了泵體的直徑和長度,從而節(jié)省了空間。
高效節(jié)能
由于懸臂結(jié)構(gòu)的推出,大大減少了泵體的體積,與普通渦輪真空泵相比,其抽氣能力有了較大的提高。而其質(zhì)量輕、能耗低的特點(diǎn),也省去了用戶的大量運(yùn)營成本。
防污染懸臂式真空泵內(nèi)部防止回流,可以適用于100%蒸發(fā)的加工環(huán)境。
抗腐蝕
懸臂式真空泵既可以用于干式抽真空,也可以用于濕式抽真空。
懸臂式真空泵廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、液晶面板、LED、太陽能、金屬冶金、化學(xué)制藥等領(lǐng)域中的真空抽取和蒸發(fā)。
使用前注意檢查防護(hù)缸,防止進(jìn)口布置不當(dāng)。
泵的使用溫度必須在規(guī)定范圍內(nèi),防止引起泵的過熱或冷卻水結(jié)冰。
請勿在泵震動的時候進(jìn)行運(yùn)作,避免對泵結(jié)構(gòu)的損壞。
使用過程中,應(yīng)定期檢修,注射潤滑油。
注意泵體上加的密封圈的選擇,配套正確的密封圈,防止泵體漏氣。
定期檢查泵體連接的閥門,確保管道暢通、也防止泵密封圈因管某些防護(hù)缸的局部區(qū)域防塵過度壓縮而引起泄漏。
定期更換泵內(nèi)B的球墨鑄鐵端蓋,并注入潤滑油。
在排氣管上根據(jù)泵的大小和使用情況增加冷卻水裝置。
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