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1、美國(guó)MKS真空壓力傳感器901 PLUS(901P)介紹
MKS模塊化真空傳感器尺寸緊湊，可大幅降低安裝成本。這些真空/壓力表非常適合控制器尺寸和本地控制至關(guān)重要的應(yīng)用。它們可用作具有模擬輸出的壓力傳感器，或具有用于傳輸壓力信號(hào)的數(shù)字通信的真空模塊。901 Plus(901P)負(fù)載鎖定傳感器(LLT)專為負(fù)載鎖定環(huán)境而設(shè)計(jì)，結(jié)合了Piezo和Micro Pirani™真空傳感器技術(shù)。與傳統(tǒng)熱導(dǎo)率計(jì)相比，組合輸出可提供顯著更高的精度、穩(wěn)定性、可重復(fù)性和更快的響應(yīng)時(shí)間。
2、美國(guó)MKS真空壓力傳感器901 PLUS(901P)特點(diǎn)
①絕對(duì)壓力測(cè)量范圍為1,000至10-5 Torr
②單個(gè)傳感器具有3個(gè)傳感器功能，測(cè)量范圍廣
③模擬、RS232、RS485和EtherCAT®版本
④可選的集成觸摸屏顯示器可用于本地壓力指示
⑤快速、準(zhǔn)確且可重復(fù)的壓力測(cè)量縮短了過(guò)程周期時(shí)間
⑥三個(gè)可選設(shè)定點(diǎn)具有快速響應(yīng)時(shí)間，可實(shí)現(xiàn)可靠的過(guò)程控制
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3、美國(guó)MKS真空壓力傳感器901 PLUS(901P)規(guī)格
①絕對(duì)測(cè)量范圍：1.0 x 10-5至1500托
②差分測(cè)量范圍：-760至+760托
③數(shù)字通訊：RS485/RS232（4800至230400波特率）
④傳感器：MicroPirani™（MEMS熱導(dǎo)率）壓電微分（MEMS隔膜）
⑤繼電器：3個(gè)繼電器SPDT（可選）
⑥工作溫度：0°至40°C（32°至104°F）
⑦最高烘烤溫度：85°C(185°F)，非工作狀態(tài)
⑧模擬輸出：絕對(duì)壓力：1至9 VDC、1 VDC/十倍頻、100Ω最大輸出阻抗（16位）
⑨可選模擬：輸出2壓電差分：5 VDC=0 Torr，1 VDC/十倍頻（12位）
⑩繼電器hlo-trade觸點(diǎn)額定值：1 A 3 0VAC/DC，電阻
?壓電微分重復(fù)性：-760至+10 Torr±1%讀數(shù)
?壓電差動(dòng)零穩(wěn)定性：滿量程的±0.1%（滿量程=760 Torr）
?超壓限制：1500托（絕對(duì)）
?內(nèi)部容積：(KF16)2.8 cc
4、美國(guó)MKS真空壓力傳感器901 PLUS(901P)特征
（1）絕對(duì)壓力和差壓測(cè)量
901P結(jié)合了絕壓和差壓測(cè)量技術(shù)，提供卓越的性能和功能。901P提供獲得專利的、獨(dú)立于氣體的絕對(duì)壓力測(cè)量（50-1000 Torr），并且比熱導(dǎo)率傳感器具有更高的精度。
（2）MicroPirani™傳感器技術(shù)
與傳統(tǒng)的皮拉尼真空計(jì)不同，MicroPirani™中的傳感器元件由一毫米見(jiàn)方的硅芯片制成，允許在非常小的體積內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。由于采用了MicroPirani™技術(shù)，901P可以讀取低至10-5 Torr的壓力，比標(biāo)準(zhǔn)皮拉尼傳感器低二十個(gè)百分點(diǎn)。傳感器設(shè)計(jì)最大限度地減少了對(duì)流的影響，因此901P可以以任何方向安裝，而不會(huì)影響精度。
（3）壓電差分傳感器技術(shù)
Piezo是一款差壓傳感器，可確保在不同的氣壓條件下正確測(cè)量氣壓。壓電技術(shù)是一種直接壓力讀數(shù)，允許測(cè)量獨(dú)立于氣體。壓電傳感器測(cè)量相對(duì)于大氣壓力的范圍為-760至+760 Torr。
（4）模擬壓力輸出
901P還具有每十倍頻1VDC的模擬壓力輸出，可連接到外部模擬設(shè)備以進(jìn)行壓力讀數(shù)或控制。其他模擬輸出和曲線可以通過(guò)數(shù)字用戶界面選擇。輔助可選模擬輸出用于提供壓差測(cè)量。
（5）三個(gè)過(guò)程控制繼電器
901P具有多達(dá)三個(gè)機(jī)械繼電器，可用于過(guò)程控制，例如聯(lián)鎖隔離閥和真空泵。每個(gè)設(shè)定點(diǎn)均可分配給差分壓電測(cè)量或組合絕對(duì)MicroPirani™-壓電測(cè)量。
（6）緊湊型設(shè)計(jì)
這些真空傳感器的緊湊設(shè)計(jì)顯著減少了真空計(jì)占用的空間。這對(duì)于系統(tǒng)設(shè)計(jì)者來(lái)說(shuō)特別有吸引力，并且可以實(shí)現(xiàn)更緊湊的真空系統(tǒng)。
（7）可選集成觸摸屏顯示器
可選的集成觸摸屏顯示器可供用戶配置；用戶可以更改壓力單位、方向，并可以訪問(wèn)設(shè)定點(diǎn)參數(shù)以及氣體類型。顯示屏還指示可用設(shè)定點(diǎn)繼電器的狀態(tài)。從5米外的高對(duì)比度顯示屏上即可看到單個(gè)傳感器顯示的壓力讀數(shù)或組合讀數(shù)。
（8）PDR900電源和顯示器
PDR900電源和讀數(shù)裝置是一款獨(dú)立的單通道控制器，可與900系列數(shù)字真空傳感器配合使用。它可以用作獨(dú)立的電源讀出單元，也可以用作OEM應(yīng)用中系統(tǒng)集成傳感器的配置、校準(zhǔn)和診斷工具。
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